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便携式三氟化氮检测仪 LBN301 三氟化氮检漏仪

更新时间:2017-12-05

简要描述:

便携式三氟化氮检测仪 LBN301 三氟化氮检漏仪主要应用于对三氟化氮气体的泄漏进行检测。三氟化氮是一种工业特种气体,其主要用作推进剂(火箭)、氯化剂、电子气、等离子蚀刻及用于掺杂激光、光导纤维。尤其是在目前发展较快的微电子领域,它可以作为一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氧化硅蚀刻

型号:LBN301厂商性质:生产厂家浏览量:237

   便携式三氟化氮检测仪 LBN301 三氟化氮检漏仪 说明:

    便携式三氟化氮检测仪 LBN301 三氟化氮检漏仪主要应用于对三氟化氮气体的泄漏进行检测。三氟化氮是一种工业特种气体,其主要用作推进剂(火箭)、氯化剂、电子气、等离子蚀刻及用于掺杂激光、光导纤维。尤其是在目前发展较快的微电子领域,它可以作为一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氧化硅蚀刻,采用三氟化氮比四氟化碳和氧气的混合气体具有更高的蚀刻交率和选择性,而且对表面无污染,在被蚀刻物表面不留任何残留物质,同时也是非常良好的清洗剂。

 

 

三氟化氮气体的危害

   三氟化氮是一种毒性物质,但是它能强列刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜,腐蚀组织。吸入高浓度NF3可引起头痛、呕吐和腹泻。长期吸入低浓度NF3能损伤牙齿和骨骼,使牙齿生黄斑,骨骼成畸形。

   具有强氧化性。与还原剂能发生强烈反应,引起燃烧爆炸。与易燃物(如苯)和有机物(如粮、纤维素等)接触会发生剧烈反应,甚至引起燃烧。受高热发生剧烈分解,甚至发生爆炸。在大气中的zui高容许浓度:10PPM(29mg/m3)。

 

特点:

  1. 便携式操作,携带方便;
  2. 自带电源供电,单次zui长使用4.5小时;
  3. 高灵敏度,zui小可到0.3PPM;
  4. 稳定性好,零点长期漂移小于1PPM;
  5. 大液晶显示屏能名直观显示测量数据;
  6. 超限进行声光报警功能;
  7. 自动保护功能,在仪器超过报警限时自动停止检测以保护传感器。
  8. 中文友好界面,触摸控制,易于操作。

 

主要技术指标:

 

参数

说明

测量范围

0-30PPM

引用误差:

≤±5%FS 

zui小检测限:

 0.1PPM 

报警值:

在0-30PPM内可任意设定

分辨率

0.01PPM

报警方式:

声光报警

报警误差:

报警误差不应超过设定值的10%

响应时间:

≤10s

 

 

使用条件:

工作环境:-20~+50度

湿度:大于20%RH  小于 95%RH(无凝露)

供电:自带充电锂电池供电,配专用充电器充电。

 

应用场合:

    六氟化硫断路器、GIS(气体绝缘开关设备)开关室、SF6负荷开关设备,SF6绝缘电管线,SF6变压器及SF6绝缘变电站等需要填充六氟化硫气体的设备、六氟化硫气体的生产和使用厂家。

 

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